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    AP300
    產品描述

    -Manufacturer : Ultratech

    -Type : Wafer Stepper

    -Model : AP300


    技術支持

    Ultratech Stepper AP300 (i-Line Stepper) 

    Configuration:

    1、 Standard Features Target: 

    -2.0 um, Extended Field, ghi-lineBroadband Lens ?  Dual 1200 W LampIlluminator

    -Universal Size/Warped Wafer Kit: 200,and 300mm.

    -FOSB Cassette to Cassette WaferHandling

    -Wafer Thickness Handling from 0.4 mmto 2.0 mm 

    -PATMAX MVS Alignment System

    -MVS Alignment Spectrum of 530 - 570 nm 

    -Lens Distortion Reference - No lensmatching 

    -6 Slot Reticle Stack, Manual FrontLoading   GEM HSMS Communications 

    -Power Source: 208 V three phase, 5wire, 150 amp 

    -Environmental Chamber

    2、 AP300 Test Reticle 6x6

    3、 FOUP Wafer Handler

    4、 Enhanced Bottom Pellicle Protection

    5、 ghi-line AutoFilter Changer 

    6、 Edge Exclusion System with one Exclusion Ring Specify ring size (15mm) 

    7、 Closed Loop Cooling 

    8、 Prism Purge Kit (requires CLC) 


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    上海友相電子科技有限公司

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